1.光學顯微鏡以可見光為介質(zhì)，電子顯微鏡以電子束為介質(zhì)，由于電子束波長遠較可見光小，故電子顯微鏡分辨率遠比光學顯微鏡高。光學顯微鏡放大倍率更高只有約1500倍，掃描電鏡可放大到10000倍以上。

2.根據(jù)De Broalie波動理論，電子的波長僅與加速電壓有關;在10 KV的加速電壓之下，電子的波長僅為0.12A，遠低于可見光的4000-7000A，所以電子顯微鏡分辨率自然比光學顯微鏡優(yōu)越許多，但是sem掃描電鏡的電子束直徑大多在50-100A之間，電子與原子核的彈性散射與非彈性散射的反應體積又會比原有的電子束直徑增大，因此一般穿透式電子顯微鏡的分辨率比掃描電鏡高。

3.sem掃描電鏡有一重要特色是具有超大的景深，約為光學顯微鏡的300倍，使得掃描電鏡比光學顯微鏡更適合觀察表面起伏程度較大的樣品。

4.sem掃描電鏡，其系統(tǒng)設計由上而下，由電子槍發(fā)射電子束，經(jīng)過一組磁透鏡聚焦聚焦后，用遮蔽孔徑選擇電子束的尺寸后，通過一組控制電子束的掃描線圈，再透過物鏡聚焦，打在樣品上，在樣品的上側(cè)裝有訊號接收器，用以擇取一次電子或者背向散射電子成像。

5.電子槍的必要特性是高度要高、電子能量散布要小，目前常用的種類有三種，鎢燈絲、六硼化鑭燈絲、場發(fā)射，不同的燈絲在電子源大小，電流量，電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異。

6.熱游離方式電子槍有鎢燈絲及六硼化鑭燈絲兩種，它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子格材料的功函數(shù)能障而逃離，對發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù)，但因操作電子槍時均希望能以更低的溫度來操作，以減少材料的揮發(fā)，所以在操作溫度不提高的狀況下，就需采用低功函數(shù)的材料來提高發(fā)射電流密度。

7.價錢更便宜使用很普遍的是鎢燈絲，以熱游離式來發(fā)射電子，電子能量散布為2eV，鎢的功函數(shù)約為4.5eV，鎢燈絲系一直徑約100um，彎曲成V形的細線，操作溫度約2700K，電流密度為1.75A/cm2，在使用中燈絲的直徑隨著鎢絲的蒸發(fā)變小，使用壽命約為40~80小時。

8.六硼化鑭燈絲的功函數(shù)為2.4eV，較鎢絲為低，因此同樣的電流密度，使用laB6只要在1500K即可達到，而目亮度更高，因此使用壽命便比鎢絲高出許多，電子能量散布為1eV，比鎢絲要好，但因laB6在加熱時活性很強，所以心須在較好的直空環(huán)境下操作，因此儀器的購買費用較高。

9.場發(fā)射式電子槍則比鎢燈絲和六硼化鑭燈絲的亮度分別高出10-100倍 同時電子能量散布僅為0.2-0.3eV 所以目前市售的高分辨率掃描電鏡都采用場發(fā)射式電子槍，其分辨率可高達 1nm 以下。

10.場發(fā)射電子槍可細分成三種:冷場發(fā)射式，熱場發(fā)射式，及蕭基發(fā)射式。

11.當在真空中的金屬表面受到108V/cm大小的電子加速電場時，會有可觀數(shù)量的電子發(fā)射出來，此過程叫做場發(fā)射，其原理是高電場使電子的電位障礙產(chǎn)生Schottkv效應，亦能使寬度變窄，高度變低，因此電子可直接"穿梭”通過此狹窄能障并離開陰極。場發(fā)射電子系從很尖銳的陰極的發(fā)射出來，因此可得很細而又且高由流密度的電子束，其亮度可達熱游離電子檢的數(shù)百倍，或甚至千倍。